ICP-MS（Inductively coupled plasma mass spectrometry），全称电感耦合等离子体质谱。是一种以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术，能同时测定几十种痕量无机元素。主要用于超微量无机元素的定量分析和同位素比分析，具有分析速度快、低检出限、宽动态线性范围、可进行多元素同时测定等优势，在地质、环境、卫生、医疗、半导体、冶金等领域都有广泛应用。
